一、淨(jing)化防護(hu)環境
空(kōng)氣中充(chong)滿灰塵(chén)粒子,而(er)這些灰(hui)塵粒子(zǐ)除了影(ying)響産品(pin)外觀,還(hai)會在半(bàn)導體中(zhōng)形成導(dao)電。因此(ci),淨化工(gong)程技❗術(shù)在微電(diàn)子技術(shu)中起着(zhe)十分重(zhong)要的作(zuo)用,根據(ju)産品不(bú)同,生⭐産(chǎn)流程♈中(zhōng)須建🏃立(li)不同級(jí)别的淨(jìng)化室。此(cǐ)外,光纖(xian)工業、液(ye)晶顯示(shi)工業、生(shēng)物工程(chéng)、醫藥工(gōng)💰業也對(duì)淨利化(huà)技術及(ji)産品有(yǒu)巨大的(de)需求。
二(er)、防靜電(diàn)環境
産(chǎn)品的移(yi)動、摩擦(ca)及空氣(qi)的流動(dong)均可能(neng)産生上(shang)萬🧡伏高(gao)壓電荷(he),形成靜(jìng)電。在所(suǒ)有的半(bàn)導體生(sheng)産領域(yù)🌐,由于靜(jìng)電的負(fù)面效應(yīng),使得保(bǎo)持高水(shuǐ)準的産(chǎn)品質量(liang)和成品(pǐn)率變得(dé)更加困(kun)難。缺🌂少(shǎo)靜電控(kong)制,将導(dǎo)緻微粒(lì)污染,靜(jìng)電放電(dian)損壞和(hé)設備故(gù)障。随着(zhe)電子産(chǎn)🏃♀️業向高(gao)度集成(cheng)化、精密(mì)化⭕的發(fa)展,防靜(jing)🙇♀️電技術(shù)成爲電(dian)子制造(zào)業重點(dian)關注的(de)技術之(zhī)一。
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